Elaboration et caractérisation des couches minces de ZnO:In2O3 déposées par spray pyrolyse

Abstract

Dans ce travail nous avons préparé des couches minces transparentes conductrices ZnO:In2O3 par la technique spray pyrolyse sur des substrats en verre. Ces films sont obtenus à partir de solution d’acétate de zinc et du chlorure d’indium dissous dans le méthanol, à une température de substrat fixe 300°C. Notre intérêt porte sur l’effet de pourcentage de phase sur les propriétés structurales et optiques de ces couches. Pour cela nous avons utilisé la diffraction des rayons x pour les caractérisations structurales, l’analyse structurale, a montré que les films ZnO et Zn0.5In0.5O déposés ont une orientation préférentielle selon la direction (002), ce résultat confirme que la phase majoritaire est de ZnO. Le spectrophotomètre UV–Visible confirme qu’il est possible d’obtenir de bons films transparents avec une transmittance de 70 à 85% dans le visible. L’accroissement d‘indium augmente le gap optique. Ce dernier varie de 3.2 jusqu’à 3.75 eV.