Etude de l’effet de la température du substrat sur les propriétés structuraes et optiques des couches minces de ZnO

Abstract

Dans ce travail, nous avons étudié l’effet de la température du substrat en verre (270 oC, 320 oC, 370 oC et 420 °C) sur les propriétés structurales et optiques des couches minces de ZnO déposées par la technique de spray pyrolyse. L’analyse structurale par diffraction de rayons X a confirmé que nos échantillons ont une structure hexagonale (type) avec une orientation préférentielle selon la direction (100). Les variations des paramètres microstructuraux tels que la taille des cristallites et les constantes de la maille ont été calculées. De plus, on a étudié la variation des contraintes. La taille des cristallites augmente avec l’accroissement de la température du substrat. Les propriétés optiques des films ont été étudiées à l’aide de la spectroscopie UV-Visible. Les résultats ont montré que les films obtenus présentent une transparence élevée dans la région visible. Les valeurs des gaps optiques des films varient entre 3.26 eV et 3.29 eV